企業(yè)簡介
北京華林嘉業(yè)科技有限公司(簡稱CGB)，總部坐落于北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)。生產(chǎn)基地在河北經(jīng)濟開發(fā)區(qū)機器人產(chǎn)業(yè)園區(qū)，公司以打造擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的民族高科技企業(yè)為已任，以創(chuàng)建國際一流企業(yè)為愿景。
CGB主要從事半導體、平板顯示、太陽能光伏領(lǐng)域濕法制程設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。產(chǎn)品性能處于國內(nèi)行業(yè)領(lǐng)先地位，并逐漸接近國際行業(yè)先進水平。2008年通過了ISO9001:2000質(zhì)量體系認證。公司業(yè)務范圍涵蓋：功能設(shè)計、結(jié)構(gòu)設(shè)計、外觀設(shè)計，骨架、包板、組裝、調(diào)試等全方位生產(chǎn)過程。專注于化合物半導體、硅材料、集成電路(IC)、微機電系統(tǒng)(MEMS)等領(lǐng)域。
主營產(chǎn)品介紹
全自動最終清洗機
該設(shè)備為我公司開發(fā)的專利產(chǎn)品，專業(yè)應用于SiC襯底和SiC外延片最終清洗的工藝環(huán)節(jié)。
該設(shè)備涵蓋了全部的RCA清洗技術(shù)，包括SC1、SC2、SPM、HF等藥液，通過合理有效地藥液槽的布局排列，結(jié)合超聲(兆聲)技術(shù)，對SiC晶片的表面進行清洗處理；通過自主開發(fā)的控制軟件，有效地將多ROBOT運動軌跡，與清洗工藝有機結(jié)合，避免了交叉污染，保證了清洗工藝的順利實施。集成在線的甩干機或Marangoni dryer單元，保證了晶片干進干出，便于晶片進入下一工序。
本設(shè)備具備完善的安全防護設(shè)施，配備了10級FFU，用于十級或百級凈化間。整個清洗過程，不需要人為干預。采用本設(shè)備清洗后的6英寸SiC晶片，表面顆粒達到<30顆/片@0.3微米，表面金屬雜質(zhì)殘留<5E10（16種金屬離子），完全滿足SiC器件工藝對表面的技術(shù)要求。該設(shè)備已在國內(nèi)多家SiC生產(chǎn)龍頭企業(yè)使用，得到了用戶的全面認可，具有非常高的市占率。
【 聯(lián)系方式 】
郵箱/Email ：gengbiao@cgbtek.com
服務熱線/Service: 400-650-7658
010-60573500 86-13910297918
公司網(wǎng)站/Website: http://www.cgbtek.com
公司地址/Address: 北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)榮華南路15號院中航技廣場D座7層705單元
